НИИТМ (Научно-исследовательский институт точного машиностроения)

История

Начало работы Центра проектирования

В главном офисе НИИ точного машиностроения (НИИТМ, входит в Группу компаний «Элемент») в Зеленограде начал работу новый Центр проектирования площадью 1520 кв. м. Его создание нацелено ускорить полный цикл разработки оборудования — от идеи и инженерных расчетов до создания рабочей конструкторской документации. Об этом ГК «Элемент» сообщила 2 марта 2026 года.

Благодаря объединению профильных специалистов в одном пространстве взаимодействие между командами станет эффективнее, а сроки реализации проектов сократятся.

В Центре работает семь ключевых подразделений института. Инженеры, конструкторы, программисты и другие специалисты взаимодействуют напрямую. На март 2026 года здесь трудятся более 100 сотрудников, включая специалистов новых направлений разработки оборудования: роботизированных систем и ионной имплантации. При этом проект Центра учитывает будущий рост компании – в него заложена возможность разместить еще больше сотрудников, что соответствует стратегии развития кадрового потенциала предприятия.

Пространство спроектировано за счет собственных средств НИИТМ и с учетом требований к рабочим зонам: в нем сочетаются отдельные кабинеты, открытые офисные зоны (open space) и переговорные комнаты разного размера. Масштабная модернизация затронула не только интерьер: было обновлено фасадное остекление и полностью заменены все инженерные коммуникации.

Основной задачей созданного Центра является решение комплексных научных и производственных задач, связанных с проектированием и разработкой оборудования, комплектующих и узлов; созданием программного обеспечения; тестированием и испытанием установок, – подчеркнул генеральный директор НИИТМ Михаил Бирюков.

2025: Анонс установки для плазмохимического осаждения на 300-миллиметровых кремниевых пластинах

Первая российская установка для плазмохимического осаждения на 300-миллиметровых кремниевых пластинах была представлена в марте 2025 года. Разработка выполнена Научно-исследовательским институтом точного машиностроения (НИИТМ), входящим в Группу компаний «Элемент». До появления этого оборудования на российском рынке отсутствовали аналоги для работы с пластинами такого диаметра, а вся производственная база была ориентирована на импортные решения или установки, рассчитанные на 200-миллиметровые подложки.

Как пишут «Известия», пластины диаметром 300 мм являются сегодня мировым стандартом, на котором производится более 90% микросхем. Такой размер значительно увеличивает количество чипов, производимых на одной подложке, что в конечном итоге снижает их стоимость для потребителя.

𝓲

Фото: Freepik

Начальник отдела перспективных разработок НИИТМ Георгий Ерицян подчеркнул, что новый комплекс предназначен для обработки кремниевых пластин диаметром 300 мм, но имеет возможность изменения конфигурации для работы с пластинами 200 мм. Это обеспечивает плавный переход производств с действующих технологических процессов на новые стандарты.Вебинар: «Управление качеством в фарме: от зарубежных решений и бумаги — к российской системе Docs5 EQMS»

Одним из ключевых достижений специалистов НИИТМ стала локализация производства значительного количества составных частей оборудования в короткие сроки. При этом разработанные базовые технологические процессы не уступают импортным аналогам. Георгий Ерицян отметил, что создание линейки отечественных промышленных установок, адаптированных под 300-миллиметровый формат, укрепит технологический суверенитет страны и её позиции на мировом рынке.

Разработка установки началась в конце 2021 года. За это время ученые-инженеры изготовили опытный образец кластерной структуры, состоящий из четырех различных технологических модулей, объединенных общей роботизированной транспортной системой для перемещения пластин.^[1]

Примечания