Литограф НЦФМ

2023: Мишустин поручил разработать рентгеновский литограф для производства чипов

Премьер-министр России Михаил Мишустин по итогам поездки в Саров поручил Минпромторгу и Минэкономразвития проработать предложения «Росатома» по нескольким научным проектам, в том числе по созданию отечественного рентгеновского литографа и производственных технологий для его использования. Об этом пресс-служба Правительства РФ сообщила 8 июля 2023 года. Выполнить поручение необходимо до 30 августа 2023-го.

Глава кабмина побывал с рабочей поездкой в Сарове 2 июня 2023 года. Там он ознакомился с флагманскими проектами Национального центра физики и математики (НЦФМ), а также посетил лазерный комплекс Института лазерно-физических исследований.

Михаил Мишустин

О создании рентгеновского литографа для производства современных чипов в феврале 2023 года сообщил научный руководитель Российского федерального ядерного центра - Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики («Росатом») Вячеслав Соловьев.

Программа развивается, дополняется с учетом тех результатов, которые мы получаем. Один из новых проектов - это создание литографа. Он также будет создаваться в рамках Национального центра физики и математики.юю И в кооперации с нашим ядерным центром, с Росатомом, с нижегородским Институтом физики микроструктур этот проект мы будем реализовывать, - сказал Соловьев.

Проект создания в РФ рентгеновских литографов, позволяющих производить чипы с нанометровым топологическим размером, предложил в 2022 году научный руководитель НЦФМ, академик Александр Сергеев. В устройствах AMSL лазер испаряет олово, рентгеновское излучение получившейся плазмы используется для фотолитографии. Альтернативный российский проект будет использовать для фокусировки излучения разработанные в российских институтах рентгеновские зеркала. По оценке академика, через два года может получиться литографическая система с мощностью, которая в разы превосходит те, что делает AMSL.^[1]

Примечания