Проект

Минпромторг выбрал главного в РФ производителя литографических материалов для чипов

Заказчики: Министерство промышленности и торговли РФ (Минпромторг)

Москва; Государственные и социальные структуры

Подрядчики: НИИ Молекулярной электроники (НИИМЭ)

Дата проекта: 2023/03

В марте 2023 года Минпромторг выбрал главного в РФ производителя литографических материалов для чипов. Речь идет о Научно-исследовательском институте молекулярной электроники (НИИМЭ), который в рамках контракта с ведомством получит 1,4 млрд рублей.

Об этом проекте сообщает CNews со ссылкой на единую ИТ-систему госзакупок. Он предполагает создание фоторезистов для использования в процессе фотолитографии с длинной волны актиничного лазерного излучения 248 нм. Фоторезисты — это разновидность светочувствительных полимеров, которые в процессе изготовления микросхем наносятся на кремниевую пластину. Далее производится экспонирование фоторезиста литографической системой через окна фотошаблонов, с последующим «вытравливанием» дорожек на кремниевом кристалле.

НИИМЭ получит 1,4 млрд руб. за освоение производства в стране материалов для производства чипов

По данным издания, НИИМЭ также стал победителем в конкурсе министерства на НИР «Разработка и постановка на производство реагента для измерения загрязнения пластин катионами металлов рентгено-флуоресцентным методом» за 158 млн рублей и НИР «Разработка технологии производства гидроксида тетраметиламмония» за 187,3 млн рублей. В этих двух конкурсах НИИМЭ также был единственным участником.

В НИИМЭ рассказали о том, что институт организовал работы по созданию задела для разработки материалов для фотолитографии. НИИМЭ создал единственную в России физико-химическую аналитическую лабораторию для проведения исследований в области контроля качества технологических сред.

По словам представителя института, к марту 2023 года многие страны, обладающие собственным микроэлектронным производством, особенно Китай и Южная Корея, стараются наладить или расширить свое производство фоторезистов и другой химии, чтобы избежать зависимости от других государств. К марту 2023-го свыше 80% всего мирового рынка фоторезистов занимают производители Японии и США. Причем Япония держит большую часть рынка.^[1]