Содержание |
Хроника
2026: Разработка проекта за 5 млрд рублей
В России разрабатывается проект создания экспериментальной станции для рентгеновской литографии «ОРЕЛ-7» (Опытный РЕнтгеновский Литограф). Оценка стоимости проекта составляет 4,5–5 млрд руб. Об этом сообщил заведующий лабораторией Института физики полупроводников СО РАН Дмитрий Щеглов 18 февраля 2026 года.
По словам Дмитрия Щеглова, станцию планируется разместить на базе строящегося в Новосибирской области Центра коллективного пользования «Сибирский кольцевой источник фотонов» (СКИФ). По состоянию на февраль 2026 года разработано предварительное техническое задание на эскизный проект станции.
Развитие технологий литографии с использованием глубокого ультрафиолета (длина волны 13,5 нм) приближается к физическому пределу. Дальнейшее уменьшение технологических норм (размеров структур микрочипов) требует увеличения количества слоев и удорожания производства. Использование рентгеновского излучения позволит перейти к ангстремным технологическим нормам, по крайней мере, для опытных разработок.
Для реализации технологии предстоит решить ряд задач: создать оптику, способную захватывать достаточное количество фотонов и фокусировать их с необходимой глубиной, разработать подходящие фотошаблоны (маски) и другое. Дмитрий Щеглов отметил, что о планах реализовать технологию рентгеновской литографии в ближайшие годы уже заявил американский стартап Substrate. Помимо микроэлектроники, технология может применяться для создания сенсоров оперативной диагностики заболеваний и модификации материалов.
Замдиректора ЦКП «СКИФ» по научной работе Андрей Бухтияров уточнил, что станции «ОРЕЛ-7» нет в списках на создание до 2035 года. В настоящее время на 23 станции второй очереди поступило более 25 предложений. Концептуальные проекты трех станций («Белок», «Инженерное материаловедение», «Спектроскопия и метрология мягкого рентгеновского диапазона») уже готовы. План развития ЦКП на ближайшие пять лет может быть утвержден до конца 2026 года.
Строительство синхротрона СКИФ (ЦКП «СКИФ» — обособленное подразделение Института катализа СО РАН) началось в августе 2021 года в наукограде Кольцово. Технический запуск установки состоялся 22 декабря 2025 года. Запуск с семью станциями первой очереди запланирован на 2026 год.
Всего на СКИФе планируется построить 30 экспериментальных станций. Это будет первый в мире источник синхротронного излучения поколения 4+ с энергией 3 ГэВ. Первоначальная стоимость проекта составляла 37,1 млрд рублей, окончательная — более 50 млрд рублей.[1]
Примечания
